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PlanOpSim 軟體的三大核心模組與工作流程

2026.11.9 2026 廣集企業

今年夏天,PlanOpSim發表了最新模組Metastack,PlanOpSim 實現了從奈米結構、光學元件到系統級光線追蹤的一站式垂直整合(One Platform - Three Levels of Design):

  • MetaCell™(奈米結構級設計):
    專注於超原子(Meta-Atoms)的設計與最佳化。採用嚴格耦合波分析法(RCWA)求解麥克斯韋方程組,在計算奈米柱等微細結構的二維參數空間時,比傳統 FDTD 演算法更加快速。
  • MetaComponent™(元件級超構表面設計):
    將對應目標的最佳化後的超原子組合成功能性的超構表面元件,進行如波前塑造、全息成像(Holography)與高斯光束對準器件類型模擬的穩健性分析。
  • MetaStack™(系統級級聯與多表面模擬):
    這是該軟體的一大突破性功能,可可靠地模擬多個超構表面級聯(例如晶圓兩側的超構透鏡)之間的複雜相互作用與光學傳播後的模擬結果。

PlanOpSim 系統敏感度示意圖

單片與雙片超構透鏡的緊湊設計比較

MetaStack 波動模型與光線追蹤的 MTF 比較

Meta cell與meta component導入與設計四步驟教學

我們也建議您在軟體內依序執行以下案例之四大基礎流程:

Step 1: MetaCell™ — 奈米結構模擬與資料庫建立

  1. 設定層狀結構: 新建一個模擬專案,設定入射層為熔融石英(Fused Silica),上方為空氣。
  2. 定義超原子參數: 透過軟體內建的 Material Library 選取 TiO₂ 材料,並建立具參數化高度與幾何形狀(如寬度、長度)的奈米柱。
  3. 優化高度與掃描(Sweep): 利用內建的嚴格耦合波分析(RCWA)求解器,優化奈米結構高度,並自動掃描不同參數下對入射光的相位與振幅響應結果。
  4. 建立meta cell group庫: 將滿足 0~2π 相位範圍控制的結構儲存為奈米單元結構庫(meta cell group),meta component的候選結構。

Step 2: MetaComponent™ — 鏡片幾何排版與波前定義

  1. 設定元件尺寸: 新建 MetaComponent 專案,指定超構透鏡的直徑、目標焦距,並導入剛才建立的奈米單元庫。
  2. 寫入目標波前(Target Wavefront):
    • 舉例:一般幾何透鏡: 可直接輸入教科書標準的球面波/非球面相位公式。
    • 自訂進階波前: 點擊軟體內的畫筆圖示(Pencil Icon),會彈出一個內建的 Python 脚本視窗,可以在此自由撰寫複雜的相位和振幅函數(x, y 分佈),
      點擊 Generate 即可預覽並確認目標波前。

Step 3: Analysis — 焦點模擬與效能分析

  1. 設定入射條件: 在分析標籤(Analysis Tab)中定義您的光學設定,例如理想平面波、或是高斯光束(Gaussian Beam)。
  2. 觀察觀測面: 將觀測平面設定在預期的焦平面(Focal Plane)位置。
  3. 執行運算: 運行仿真後,即可在介面中直接將焦點光斑(Focal Spot)的強度分佈、橫截面場強(xz面/yz面)進行視覺化呈現。

Step 4: Export — 加工與系統導入

  • GDSII 掩膜導出: 確認模擬效能達標後,在軟體內一鍵生成並下載微影加工專用的 GDSII 或 OASIS 掩膜檔案(Layout File)。
  • 導出至光線追蹤軟體(如 Zemax / TracePro): 系統會可輸出超構表面的ray trcing結果(psrt)檔與對應的 .dll 插件檔案。您可以將此檔案導入 Zemax 中,
    作為宏觀光學系統(比如 LiDAR、面部辨識鏡頭)中的一個混合表面進行大系統級光線追蹤。

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